何謂thermal budget
熱積存(ThermalBudget).•在高溫下摻雜原子快速的擴散.D=D.0exp(–E.A./kT)...•較佳的熱積存(Thermalbudget)控制.較佳的晶圓對晶圓(WTW)均勻性控制.•較佳的 ...,何谓蚀刻(Etch)?.ETCH何谓蚀刻(Etch)?答:将形成在晶圆表面上的...Ans(1)Theissueofshallowjunction:lowe...
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